利用平行光檢查燈在潔凈室中發(fā)現微粒particle
瀏覽次數：2183發(fā)布日期：2021-11-24
利用LUYOR-3320平行光檢查燈在潔凈室中發(fā)現微粒(PARTICLE)
很多行業(yè)的元器件，如半導體元器件、光學鏡頭、液晶面板等在制造過程中，空氣中不允許有過多的灰塵顆粒；對于制造中的某些步驟，例如半導體，在清洗、載流子傳輸操作或涂覆光刻膠的過程中，由于空氣中的顆粒會影響產品質量并造成重大損失。在潔凈室中進行微粒檢查的工作是必要的。
盡管潔凈室非常干凈，但是，潔凈室中仍然存在極少量的灰塵。除了空氣對流外，這些灰塵可能來自消耗品(例如手套和口罩)或由人體產生。(例如來自皮膚表面的死皮細胞)。
在潔凈室中，一些沒有氣流的區(qū)域(死點)會慢慢積聚落塵。如果空氣受到干擾，這些空氣中的微塵會直接落到產品或工作人員身上，而不會被粒子計數器感應到。這些灰塵顆粒不易在潔凈室內的空氣中漂浮。當它們因靜電或極性聚集在一起時，很難將粘性灰塵吹到排氣口。
對于這種吸附的顆粒，不僅空氣過濾器的收集效率低，而且粒子計數器也難以感應，而且這種顆粒一旦附著在重要的表面(如光罩)上，可能會影響產量。(路徑越細，影響越大。)
如果操作者在一般的白光下很難從背景中分辨出灰塵顆粒，就無法有效地清潔灰塵，從而造成損失。因此，在潔凈室中，如果可以使用特定波長的檢測工具或小角度的平行光檢查燈LUYOR-3320，就能有效檢測產品上的粘塵，從而降低不良率。
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